▶ 메인챔버에 진공을 건 후 3개의 서브챔버에서 발생가스를 Sampling 하는 장치
ㆍDimensions(in)
- Main Chamber : Φ270 x h100 mm
- Sub Chamber : Φ60 x 80 mm
ㆍFlow Meter : 3 EA
ㆍMaterial : Stainless Steel
ㆍVacuum Gauge : 1 EA
ㆍVacuum Valve : 1 EA
ㆍRelease Valve : 1 EA
ㆍLine Valve : 3 EA
ㆍSafety Glass : 270 x 270 / 8 mmT
